晶元半导体台阶测高显微镜介绍
偏光观察
微分干涉对比观察
暗视场观察
亮视场观察
新功能增强Z轴测量精度
对焦
金彩汇
前端对焦
后端对焦
规格 金彩汇
技术参数
型号
VMM-8Ⅰ型
VMM-8Ⅱ型
VMM-8 Ⅲ型
VMM-8
VMM-12Ⅰ型
VMM-12Ⅱ型
VMM-12Ⅲ型
VMM-12
镜筒
1×光学管径，双目目镜，带有CCD1/2靶面接口
观察图像
正像
观测方法
辅助对焦系统
-
-
头部或照明器FA系统
头部或照明器FA系统
金彩汇
-
-
头部或照明器FA系统
头部或照明器FA系统
微分干涉对比
金彩汇
可选微分观测对比
目镜
10X(视场直径：25mm)，可选十字分划板，可选：视场直径：22mm
金彩汇
物镜(100x选配)
95mm 2x,
60mm 5x,
95mm 2x,
60mm
95mm 2x,
60mm 5x,
95mm 2x,
60mm 金彩汇
照明装置
反射照明
金彩汇
内置孔径光阑，LED光源，无极亮度调节，可选卤素照明
金彩汇
透射照明
白色LED照明，无极亮度调节
工作台
XY测量范围
200*100
200*100
200*100
金彩汇
200*100
300*200
金彩汇
300*200
金彩汇
300*200
金彩汇
300*200
金彩汇
快速释放装置
金彩汇
X轴和Y轴（标配）
调零开关
X轴和Y轴（标配）
数显计器
显示轴
2轴或3轴
分辩率
0.0005mm（可选0.00002mm）
金彩汇
金彩汇
VMM-8-Ⅰ型主图
VMM-8-Ⅱ型主图
VMM-8-Ⅲ型FA主图
金彩汇
VMM-8-Ⅳ型FA主图
VMM-12-Ⅰ型主图-95mm
VMM-12-Ⅱ型主图-60mm
VMM-12-Ⅲ型FA主图-95mm
VMM-12-Ⅳ型FA主图-60mm
介绍
平场复消色差M PLAN APO L
数值孔径N.A.
工作距离W.D.
金彩汇
焦距f
金彩汇
景深D.F.
金彩汇
分辨率R
视场
金彩汇
目镜(WF10/24)
1/2"CCD摄像头
2X
0.055
34.6
金彩汇
100
91μ
金彩汇
5μ
Φ12
2.4x3.2
5X
0.14
45
金彩汇
40
14μ
2μ
金彩汇
Φ4.8
0.96x1.28
10X
金彩汇
0.28
34
20
3.5μ
金彩汇
1μ
金彩汇
Φ2.4
0.48x0.64
20X
金彩汇
0.29
金彩汇
30.8
10
3.5μ
1μ
金彩汇
Φ1.2
0.24x0.32
50X
0.42
20.5
金彩汇
4
1.6μ
0.7μ
Φ0.45
0.10x0.13
100X
0.55
12.5
金彩汇
2
0.9μ
0.5μ
Φ0.24
0.05x0.06
金彩汇
介绍
名称
物镜
目镜(WF10/25)
数值孔径N.A.
有效工作距离W.D.(mm)
金彩汇
焦距f′(mm)
金彩汇
分辨率R(μm)
金彩汇
物理焦深±Δp(μm)
金彩汇
物方视场(mm)
焦点深度±Δ(μm)
5X
金彩汇
0.15
11.6
金彩汇
40
2.1
金彩汇
16.3
Φ5
金彩汇
38.3
10X
金彩汇
0.3
6.3
金彩汇
20
0.9
3.1
金彩汇
Φ2.5
7.8
金彩汇
20X
金彩汇
0.4
金彩汇
10.3
金彩汇
10
0.69
1.8
Φ1.25
金彩汇
3.5
50X
金彩汇
0.8
金彩汇
2
4
0.34
0.4
金彩汇
Φ0.5
0.8
100X
0.80
金彩汇
1.96
2
0.34
金彩汇
0.2
Φ0.25
0.6
金彩汇
介绍
名称
物镜
目镜(WF10/25)
金彩汇
数值孔径N.A.
金彩汇
有效工作距离W.D.(mm)
金彩汇
焦距f′(mm)
分辨率R(μm)
物理焦深±Δp(μm)
物方视场(mm)
焦点深度±Δ(μm)
5X
0.13
11.6
40
2.1
金彩汇
16.3
金彩汇
Φ5
金彩汇
38.3
10X
0.3
6.4
20
金彩汇
0.9
3.5
Φ2.5
金彩汇
7.8
20X
金彩汇
0.4
11.1
10
金彩汇
0.7
1.6
金彩汇
Φ1.25
3.5
金彩汇
50X
金彩汇
0.55
8.2
金彩汇
4
0.5
10.9
Φ0.5
金彩汇
1.4
金彩汇
100X
0.80
金彩汇
2
2
金彩汇
0.4
0.4
Φ0.25
0.7
金彩汇
金彩汇
微分干涉介绍
VMM测量显微镜系列是观察、测量和处理系统化的显微镜阵容。
特点
● 视场宽阔，可得清晰无闪烁正像
● 高精度测量，同时具有大测量范围和高精度，适用于各种测量
● 可选用高NA物镜，满足长工作距离的测量要求
● 照明装置（反射/透射）可选用高亮度LED的照明或卤素照明
● 利用可变孔径光阑进行无衍射观察测量
● 各类尺寸的标准工作台
● 快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台
● 高位目镜观察
● 便捷CCD图像成像，可选配多种CCD数码相机
金彩汇
观察成像
观察过滤后只有一个方向振动的光。适于观察具有特殊光学特性的材料，如矿石和液晶。
金彩汇
在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和阶差时很有效。
金彩汇
金彩汇
挡住直射到物体上的光，只观察散射光，通过高对比度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。
最普通的观察方式，直接观察从工件表面反射的光。
● 辅助对焦（FA）
新近研发的分光棱镜辅助对焦（FA）提供更锐利的图案，可在Z轴测量期间提供精确对焦。由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降到最低。
● 无限远系统，管镜200mm
● 倾斜角度30°，瞳孔距离55-75mm，正像
● 高眼点，大视场WF10/22
● 鼻轮螺纹M26X0.706
● Z轴的长度180mm，微动精度0.002mm，测量精度（at20℃），XY-轴的（2.5+0.02L）um，L=测量长度（mm）在没有放物体分辨率为0.001mm
● 12V50W反射卤素灯
● 3W高亮度LED光源
金彩汇
● 可配置辅助调焦装置（FA）
金彩汇
Ⅳ型
Ⅳ型
5x,10x,
20x,50x
10x,20x,
50x
5x,10x,
20x,50x
5x,
10x,20x,
金彩汇
50x
5x,10x,
20x,50x
10x,20x,
50x
5x,10x,
20x,50x
5x,
10x,20x,
金彩汇
50x
金彩汇
金彩汇
95MM金相长工作距离明场物镜。
特点
● 可见光成像
● 无限远光学系统，管径焦距200mm
● 物镜螺纹M26 x 0.706
金彩汇
技术参数
金彩汇
60MM金相平场半复消色差物镜。
特点
● 可见光成像
● 物镜螺纹M26 x 0.706
技术参数
金彩汇
45MM金相平场消色差明场物镜。
特点
● 可见光成像
● 无限远光学系统，管径200mm
● 物镜螺纹M20.32
金彩汇
技术参数
金彩汇
金彩汇
微分干涉DIC在正交偏光的基础上，插入DIC棱镜，即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术，可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。
5X、10X、20X专为DIC设计，使得整个视场的干涉色一致，微分干涉效果非常出色，高倍物镜DIC效果也较好。
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